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    深圳技術(shù)大學(xué)電子束蒸發(fā)鍍膜機意向公開

    廣東-深圳-深圳市 狀態(tài)：預(yù)告 加入收藏 打印 導(dǎo)出為
    更新時間:
    2024年02月07日
    		 招標(biāo)單位: 立即查看
    截止時間: 立即查看 招標(biāo)編號: 立即查看
    項目名稱: 立即查看 代理機構(gòu): 立即查看
    關(guān)鍵信息: 蒸發(fā)鍍膜機  招標(biāo)文件: 立即查看
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    ****電子束蒸發(fā)鍍膜機意向公開
    采購單位:****
    項目名稱:電子束蒸發(fā)鍍膜機
    預(yù)算金額（元）:2,500,000.000
    采購品目:其他儀器儀表
    采購需求概況:擬采購電子束蒸發(fā)鍍膜機1臺，配置參數(shù)包括：
    1.腔體極限真空≤8E-8Torr，開腔后從大氣抽到5E-6Torr小于30分鐘；
    2.一臺不小于10KW電子束槍電源，X/Y掃描；坩堝的數(shù)目不少于6個，每個坩堝容量不小于15cc，帶流量感應(yīng)探頭的冷卻水回路。
    3.真空計及氣體流量控制：兩路氣路N2和O2,一個質(zhì)量流量計控制O2，質(zhì)量流量計（工藝腔體）最大流量100sccm。
    4.配置一套晶振控制器，集成于系統(tǒng)PLC可用于蒸發(fā)源和擋板的自動操作；雙探頭晶振，可以自動切換。
    5.水冷工件臺：直徑8英寸旋轉(zhuǎn)工件臺，轉(zhuǎn)速0-20RPM可調(diào)節(jié)，滿足8英寸向下及碎片基板的蒸鍍需求。
    6.膜厚均勻性：8英寸膜厚片內(nèi)±3%，片間±3%；厚膜精度優(yōu)于0.1A。
    聯(lián)系人:宋惠雪
    聯(lián)系電話:0755-****6324
    預(yù)計采購時間:2024-03
    備注:無

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