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中山大學(xué)材料學(xué)院全自動(dòng)薄膜沉積系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目

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2023年04月24日

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薄膜

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****材料學(xué)院全自動(dòng)薄膜沉積系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目

基本信息

項(xiàng)目編號(hào)	****
項(xiàng)目名稱	****材料學(xué)院全自動(dòng)薄膜沉積系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目
項(xiàng)目類型	貨物采購(gòu)	申購(gòu)主題	全自動(dòng)薄膜沉積系統(tǒng)	采購(gòu)單位	****
項(xiàng)目預(yù)算	***	采購(gòu)開始時(shí)間	2023-04-24 15:49	采購(gòu)結(jié)束時(shí)間	2023-05-01 09:00	是否送貨	是
期望收貨時(shí)間	合同簽訂后100天交貨	經(jīng)辦人	王老師	經(jīng)辦人電話	****5092
送貨地址	市區(qū)新湖街道********學(xué)園1-B110
電子簽章	本項(xiàng)目需要使用CA簽字
備注	1、國(guó)內(nèi)供貨請(qǐng)報(bào)含稅人民幣價(jià)；境外供貨（進(jìn)口）請(qǐng)報(bào)免稅人民幣價(jià)或外幣價(jià)，**公司必須有境外人民幣收款賬戶。 2、進(jìn)口貨物中如有國(guó)內(nèi)供貨部分，供應(yīng)商在報(bào)價(jià)時(shí)應(yīng)分別報(bào)價(jià)，境外供貨部分、國(guó)內(nèi)供貨部分的幣種選擇見第1條，并分別簽訂進(jìn)口貨物購(gòu)銷協(xié)議和國(guó)內(nèi)采購(gòu)合同。 3、學(xué)校不收取任何費(fèi)用，外貿(mào)代理費(fèi)由供應(yīng)商支付。4、本項(xiàng)目需要使用CA證書，請(qǐng)供應(yīng)商根據(jù)指引（http://bidding.**.cn/article/4902）提前辦理CA證書。 5、技術(shù)參數(shù)中如標(biāo)注有“★”號(hào)的條款必須實(shí)質(zhì)性響應(yīng)，負(fù)偏離（不滿足要求）將導(dǎo)致報(bào)價(jià)無效。

設(shè)備列表

采購(gòu)設(shè)備數(shù)量參考品牌詳細(xì)響應(yīng)要求

全自動(dòng)薄膜沉積系統(tǒng)

1臺(tái)

詳情請(qǐng)進(jìn)入系統(tǒng)查看

"全自動(dòng)薄膜沉積系統(tǒng)"技術(shù)要求

序號(hào) 技術(shù)要求內(nèi)容評(píng)分等級(jí) 是否需要附件說明

1	1、主機(jī)參數(shù)：主機(jī)參數(shù)：設(shè)備為單室結(jié)構(gòu)，含濺射真空室、磁控濺射靶（2英寸4個(gè)）、自轉(zhuǎn)基片臺(tái)、加熱系統(tǒng)、直流電源（1臺(tái)）、射頻電源（3臺(tái)）、工作氣路、真空獲得系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量、水冷卻及報(bào)警系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成，可用于金屬薄膜、半導(dǎo)體膜等的制備。主要技術(shù)指標(biāo)如下：1.單腔體沉積室：尺寸不小于Ф450mmx400mm，304優(yōu)質(zhì)冷軋板不銹鋼真空腔室；前開門結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。	非常重要	否
2	2.*磁控靶：可安裝4個(gè)2英寸靶材（Ф50.8mm），可調(diào)節(jié)角度不低于45°，靶材在下自下而上共焦濺射，兼容RF、DC、MF，任意靶可同時(shí)工作實(shí)現(xiàn)共濺射，可濺射磁性靶材，配有磁流體控制的獨(dú)立靶材擋板。	非常重要	否
3	3.基片臺(tái)：4英寸（向下兼容），基片加熱不低于600°C，最高轉(zhuǎn)動(dòng)速度不低于20轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào)，獨(dú)立擋板，靶與基片距離可調(diào)，最大距離不低于130mm。	重要	否
4	4.脂潤(rùn)滑復(fù)合分子泵:抽速不低于700L/S，機(jī)械泵：抽速不低于9L/S。	重要	否
5	5.濺射電源：全自動(dòng)調(diào)諧匹配射頻電源 3臺(tái)，數(shù)字式恒流直流電源1臺(tái)，功率均不低于500w。	重要	否
6	6.▲極限真空：≤5.0×10-5pa，從大氣開始抽氣25分鐘可到6.6×10-4pa,系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度：≤5Pa.	非常重要	是
7	7.不均勻度：尺寸為4英寸的樣品不均勻度不高于±4%（以鍍膜金屬薄膜進(jìn)行驗(yàn)收，鍍金屬膜厚度約200nm）。	重要	否
8	8.工作氣路：兩路氣體分別使用Ar、O2，流量為0-100sccm，0-50sccm。	重要	否
9	9.真空計(jì)：測(cè)量范圍從大氣壓到高真空，高真空極限測(cè)量氣壓不高于1.0×10-6pa。	非常重要	否
10	10.插板閥：連續(xù)調(diào)整的電動(dòng)插板閥+MFC控制，開合度精確到0.1%。	重要	否
11	11.控制平臺(tái)：一鍵式操作控制方式，帶誤操作互鎖保護(hù)。；2、附件參數(shù)：無；3、軟件及其功能：PLC編譯控制軟件	重要	否
12	配置清單：1、高真空不銹鋼腔室約Φ450mm×400mm 1套2、腔體防污內(nèi)襯1套3、觀察窗及法蘭 RF100配襯玻璃防污1套4、腔室照明1只5、旋轉(zhuǎn)基片工裝直徑4英寸1套6、旋轉(zhuǎn)步進(jìn)電機(jī)及電源 1套7、陶封電極 CF35四芯 1套8、分子泵700L/s脂潤(rùn)滑分子泵1臺(tái)9、機(jī)械泵9L/S 1臺(tái)10、電動(dòng)插板閥CC-150 1臺(tái)11、旁抽閥DF40 1臺(tái)12、氣動(dòng)截止閥DF40 1支13、電磁充氣閥DF40 1支14、電磁截止閥DN6 2臺(tái)15、氣動(dòng)截止閥DN16 1個(gè)16、真空抽氣管道不銹鋼三通及波紋管2臺(tái)17、真空計(jì) ZDF-5201 1個(gè)18、永磁靶4只19、磁控靶接管組件 4只20、靶的擋板 invacuum氣動(dòng) 4只21、500W直流濺射電源 1臺(tái)22、500w射頻電源全自動(dòng)調(diào)諧匹配 3臺(tái)23、質(zhì)量流量控制器量程0-100SCCM 0-50SCCM 2路24、控制電源分子泵、機(jī)械泵、電磁閥、水壓報(bào)警、照明烘烤,基片旋轉(zhuǎn)、基體加熱、連鎖控制系統(tǒng)等 1臺(tái)25、總控制電源1臺(tái)26、水管、變通、接嘴、不銹鋼球閥、氣路卡套、管接頭不銹鋼材質(zhì),配套合理管路1套27、氣管、變通、接頭氣體管道金屬管 1套28、安裝機(jī)架型材歐標(biāo)方式 1臺(tái)29、靶材測(cè)試靶材 4塊30、密封、連接件及其附件金屬密封（靜密封）+氟膠圈密封 1批31、氟橡膠密封圈相應(yīng)規(guī)格的泵、閥、管路、各軸封處易損密封圈 1套32、無氧銅墊圈 1套33、氣泵 1臺(tái)34、冷水機(jī) 5kw 1臺(tái)	非常重要	是

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