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| 汞探針CV測試儀 | |
| 項(xiàng)目所在采購意向: | ****2026年4月至6月政府采購意向 |
| 采購單位: | **** |
| 采購項(xiàng)目名稱: | 汞探針CV測試儀 |
| 預(yù)算金額: | 170.000000萬元(人民幣) |
| 采購品目: | |
| 采購需求概況 : |
1套;1.1 載流子濃度測試范圍1E14-1E19 carriers/cm3;載流子濃度測試重復(fù)性:≤1.5%;載流子濃度測試精度:≤2%;去邊距離≤3mm。1.2 Hg 面積重復(fù)性≤0.20%;測試時(shí)汞用量36ul。1.3 信號(hào)源采用 Hg-CV 法測試,信號(hào)源為正弦交流電,頻率 100kHZ 和 1MHZ;電壓范圍:± 250 V;電壓的分辨率:≤±1%;升降壓速率:0~50 V/sec,任意可調(diào);電容范圍:0 to 2000 pF at 1 MHz;0 to 20000 pF at 100kHz;電容測量精度:≤0.5%(標(biāo)準(zhǔn)片)。1.4 樣品臺(tái)及移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)平臺(tái)滿足 2~4 英寸外延片測試移動(dòng)精度:步進(jìn)≤0.2mm;XY全自動(dòng),運(yùn)動(dòng)范圍0-200mm,兼容2/4寸樣品。1.5 可進(jìn)行載流子濃度 mapping 測試;單晶圓測試點(diǎn)數(shù)≥100個(gè)。1.6 配 2 個(gè)探頭,至少包含 1 個(gè)點(diǎn)狀探頭;探頭面積重復(fù)性≤0.5%。1.7 馬達(dá)及氣動(dòng)控制子系統(tǒng),壓力80~120psi之間,待機(jī)時(shí)流量5升/分鐘,最大消耗流量65升/分鐘;管徑10mm。1.8 Model 52 CV測試單元,電壓250V,升降壓速0 to 50 V/sec;測試精度≤2%,測試重復(fù)性≤0.50%;電容,0 to 2000 pF at 1 MHz;0 to 20000 pF at 100kHz;電導(dǎo)0 to 2000 uS。
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| 預(yù)計(jì)采購時(shí)間: | 2026-06 |
| 備注: | |
本次公開的****政府采購工作的初步安排,具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。標(biāo)書代寫