1套；1.1 載流子濃度測試范圍1E14-1E19 carriers/cm3；載流子濃度測試重復(fù)性：≤1.5%；載流子濃度測試精度：≤2%；去邊距離≤3mm。1.2 Hg 面積重復(fù)性≤0.20%；測試時(shí)汞用量36ul。1.3 信號(hào)源采用 Hg-CV 法測試，信號(hào)源為正弦交流電，頻率 100kHZ 和 1MHZ；電壓范圍：± 250 V；電壓的分辨率：≤±1%；升降壓速率：0～50 V/sec，任意可調(diào)；電容范圍：0 to 2000 pF at 1 MHz；0 to 20000 pF at 100kHz；電容測量精度：≤0.5%（標(biāo)準(zhǔn)片）。1.4 樣品臺(tái)及移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)平臺(tái)滿足 2～4 英寸外延片測試移動(dòng)精度：步進(jìn)≤0.2mm；XY全自動(dòng)，運(yùn)動(dòng)范圍0-200mm，兼容2/4寸樣品。1.5 可進(jìn)行載流子濃度 mapping 測試；單晶圓測試點(diǎn)數(shù)≥100個(gè)。1.6 配 2 個(gè)探頭，至少包含 1 個(gè)點(diǎn)狀探頭；探頭面積重復(fù)性≤0.5%。1.7 馬達(dá)及氣動(dòng)控制子系統(tǒng)，壓力80~120psi之間，待機(jī)時(shí)流量5升/分鐘，最大消耗流量65升/分鐘;管徑10mm。1.8 Model 52 CV測試單元，電壓250V，升降壓速0 to 50 V/sec；測試精度≤2%，測試重復(fù)性≤0.50%；電容，0 to 2000 pF at 1 MHz；0 to 20000 pF at 100kHz；電導(dǎo)0 to 2000 uS。